フルオロメタン

デジタル大辞泉

フルオロメタン【fluoromethane】

読み方：ふるおろめたん

メタンを構成する水素原子1個を弗素原子1個と置換した化合物。ハイドロフルオロカーボン（HFC）に分類される代替フロンの一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。モノフルオロメタン。弗化メチル。HFC-41。化学式CH₃F

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フルオロメタン

分子式：	CH3F
その他の名称：	フッ化メチル、ふっ化メチル、Fluoromethane、Methyl fluoride、フレオン41、Freon-41、Freon 41、Fron-41、R-41、フロン41
体系名：	メチルフルオリド、フルオロメタン

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フルオロメタン

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/06 11:16 UTC 版)

フルオロメタン
IUPAC名 フルオロメタン
別称 モノフルオロメタン, フッ化メチル, フルオロメチリジン, フロン41, ハロカーボン41, R41, UN 2454
識別情報
CAS登録番号	593-53-3
PubChem	11638
EC番号	209-796-6
KEGG	C11147
ChEBI	CHEBI:28826
SMILES CF
InChI InChI=1/CH3F/c1-2/h1H3
特性
化学式	CH3F
モル質量	34.03 g/mol
外観	無色無臭の気体
密度	0.5786 kg/m3 （20 °C） 0.557 g/cm3 (液体：25 °Cでの飽和圧力）
融点	131.4 K (-141.8 °C)
沸点	195.0 K (-78.2 °C)
水への溶解度	1.66 l/kg (2.295 g/l)
蒸気圧	3.3 MPa
危険性
EU分類	非常に強い可燃性(F+)
NFPA 704	4 1 0
Rフレーズ	R12
Sフレーズ	S9, S16, S23, S24/25, S26, S28, S33, S36/37/39, S60
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

フルオロメタン (fluoromethane) とは、示性式が CH₃F と表される有機化合物。フッ化メチル、フロン41、HFC-41とも呼ばれる。無色の気体。

広義にはメタンの水素原子をいくつかフッ素で置換した化合物群を意味し、区別するために「フルオロメタン類 (fluoromethanes)」と呼ばれる。

フロン類（ハイドロフルオロカーボン）の一種である。温室効果が知られ、温暖化係数 (GWP) は 150。オゾン層破壊作用はない。

半導体工業で、ケイ素表面のエッチング剤として用いられる。

関連項目

• C1化学
• 冷媒
• クロロメタン