ノンコンタクトモード(Non-contact Mode）
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/10/10 16:14 UTC 版)
「原子間力顕微鏡」の記事における「ノンコンタクトモード(Non-contact Mode）」の解説
圧電素子によってカンチレバーを上下に振動させながら試料表面のごく近傍（数ナノメートル程度）まで近づけ、両者の間に働く原子間相互作用による力を検出し、一定の力（＝距離）を保ってスキャンする。探針と試料の間の距離に応じて振動の振幅、位相、周波数が変化するので、これらが一定になるようにカンチレバーもしくは試料を上下させながら測定を行なう。 探針を接触させずに測定を行なうため、試料を傷つける心配がない。また光てこ方式よりも単純なので真空での測定にも適しており、ヤング率の高い（＝硬い）プローブを用いることで非常に高い空間分解能を実現できる。2000年にGiessiblらはこの方式を用い、初めてAFMによるサブ原子レベルでのSi(111)表面における(7×7)構造の観察に成功した。
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