磁性流体シール

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磁性流体シール

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/09/23 21:48 UTC 版)

磁性流体シール（じせいりゅうたいシール、英: Ferrofluidic seal）は、磁性流体を使用した回転シールの一種である。磁性流体シールは永久磁石による非接触の磁気回路中に磁性流体を磁場により保持されることで、非接触のシールを形成している。

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磁性流体シール

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/12/05 17:22 UTC 版)

「シール (工学)」の記事における「磁性流体シール」の解説

磁性流体とは磁性微粒子をベースオイル中に分散させた液体。磁性体の回転軸の外周に環状の永久磁石を設置し、永久磁石と軸の間に磁性流体を充填すると、永久磁石と回転軸の間に形成される磁力線に沿って磁性流体のシールが出来る機構。固体の接触が無いので磨耗が無く磨耗粉が発生しない、摩擦抵抗が少ない、漏れが無い等の優れた特性を持っている。PVD装置、CVD装置やスパッタ装置などの、磨耗紛を極度に嫌う半導体製造用真空加工装置には不可欠のシステムである。