電子銃 electron gun
電子銃
【英】：electron gun
光学顕微鏡の光源に相当する電子線発生装置。陰極から放出された電子を陽極に向かって加速され電子ビームを作る。
光学顕微鏡の光源に相当する電子線発生装置。陰極から放出された電子を陽極に向かって加速され電子ビームを作る。
- イオンポンプ（スパッタイオンポンプ）
- イマージョンレンズ
- ウェーネルト電極
- エネルギー分解能
- クロスオーバ
- コンデンサーレンズ
- ショットキー型電子銃
- ショットキー効果
- スパッタイオンポンプ
- スピン偏極電子波
- ダイナミックTEM
- プローブ径
- ベーク装置
- ベルシュ効果
- モノクロメータ
- 引き出し電極
- 陰極
- 仮想光源
- 加速管
- 加速電圧
- 光軸合わせ
- 高圧ケーブル
- 高圧タンク
- 高圧電源
- 差動排気
- 仕切り弁
- 焼きだし（鏡筒内壁などの）
- 状態密度
- 色収差
- 真空排気系
- 走査電子顕微鏡
- 多段加速電極
- 脱ガス
- 電界放出型電子銃
- 電子線ホログラフィー
- 熱電界放出型電子銃
- 熱電子放出型電子銃
- 冷陰極電界放出型電子銃
- 六硼化ランタン
電子銃
電子銃（でんしじゅう、英語: Electron-gun,英語: e-gun）とは、固体中の電子を高熱や高電界により空間に放出させ、これを電界により加速すると共に、電子レンズにより電子線をビーム状に収束させて照射する装置。
電子を放出する陰極（カソード）は、熱電子銃ではフィラメント、電界放出型電子銃やショットキー電子銃ではエミッタと呼ばれる[1]。
種類
熱電子放出型
熱電子放出型では、固体中の電子を空間に取り出す電子源（エミッタもしくはカソード）には、熱エネルギにより電子放出を行う。安価に安定な電子源が得やすいため、ブラウン管などに広く用いられている。加熱しているためアウトガスの吸着が少なく、長寿命で安定的な電子線放出が行える。
- 熱電子源としては、タングステンや六ホウ化ランタン（LaB6）などのフィラメントが用いられる。
- 熱電子を放出しやすくするためにショットキー効果を使ったものが電子顕微鏡や電子線描画装置などに用いられている。
電界放出(FE)型
電界放出型 (Field Emission)では、高電界により固体表面近傍のポテンシャルバリアを薄くすることで、量子力学的トンネル効果を利用して空間に電子を取り出す。微細な電子源（点電子源）が得やすく、また高い電流密度が得られるため、高分解能電子顕微鏡や電子線描画装置、進行波管などに用いられている。
脚注
- ^ “量子ビーム科学研究施設”. 大阪大学産業科学研究所. 2021年7月21日閲覧。
「electron gun」の例文・使い方・用例・文例
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