焼きだし

透過電子顕微鏡基本用語集

焼きだし（鏡筒内壁などの）

【英】：baking

透過電子顕微鏡の真空を高真空に保つために、電界放出型電子銃室、鏡筒内壁や試料ステージを真空状態で加熱すること。吸蔵されているガスを強制的に脱ガスし、その後のガス放出を少なくさせる。電界放出型電子銃の場合は電子銃の安定な作動、長寿命、放電損傷の減少などの目的で〜300℃の高温で40時間以上の焼き出しを行う。鏡筒等の場合はOリングを使っているので、高温での焼き出しはできないので〜60℃ 3日間くらいの焼きだしを行う。