研磨用語集

IR法

あい・あーるほう

赤外分光法　infrared spectroscopy　の略語。赤外線を照射した試料からの反射光、あるいは加熱した試料からの放射光を分光分析して、表面の化学的な諸情報を得る。表面の単分子層から50nm程度の深さまでの表面分析ができ、気体、液体、固体のいずれにも適用可能である。