二次電子検出器 SED: secondary-electron detector, SE detector
二次電子検出器
二次電子検出器
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)
二次電子は物体に電子線を照射した際、物体のごく浅い表面から発せられるため、物体の形状や表面凹凸を検出するのに適している。電子線形状測定やSEM像を確認するときなどに用いられる。
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