走査低エネルギー電子顕微鏡（スリーム）
略語：SLEEM
【英】：scanning low energy electron microscope
試料に対する入射電子のエネルギーを数十から数百ボルトに低減して、細いプローブを試料上で走査し、試料で散乱した電子および二次電子を検出して、表面の像を形成する装置。表面の情報を得るために試料周りは超高真空に保たれる。通常、SEMに改造を加えて作られるので、SEMに使われている二次電子検出器やビームの走査系を利用している。試料に負の電位を印加することにより、試料近傍に減速電界すなわち陰極レンズが形成される。印加電位を可変することにより入射電子のエネルギーを可変することが可能になり、低い入射エネルギーで高い分解能が得られる。入射エネルギーが10eVのとき10nmが得られている。
【英】：scanning low energy electron microscope
試料に対する入射電子のエネルギーを数十から数百ボルトに低減して、細いプローブを試料上で走査し、試料で散乱した電子および二次電子を検出して、表面の像を形成する装置。表面の情報を得るために試料周りは超高真空に保たれる。通常、SEMに改造を加えて作られるので、SEMに使われている二次電子検出器やビームの走査系を利用している。試料に負の電位を印加することにより、試料近傍に減速電界すなわち陰極レンズが形成される。印加電位を可変することにより入射電子のエネルギーを可変することが可能になり、低い入射エネルギーで高い分解能が得られる。入射エネルギーが10eVのとき10nmが得られている。
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