試料汚染防止装置

走査電子顕微鏡基本用語集

試料汚染防止装置（液体窒素トラップ,コールドトラップ,冷却トラップ）　anti-contamination device,liquid-nitrogen trap,cold trap

観察や分析時の試料汚染を減少させるための装置。試料近傍に置かれた金属板を液体窒素で冷却すると、周囲にある炭化水素系ガス分子を吸着し、試料汚染を減少させることができる。金属板は、なるべく試料を包み込むような構造が望ましいが、SEMの場合、比較的大きな試料を自由に扱うことを優先させるため、平板状の構造となってしまい、効果が若干低下する。デュワーの液体窒素が蒸発し、金属板の温度が上がると試料汚染が急激に増加するので、一定の時間間隔で液体窒素を補給することが重要である。

関連する用語

• 試料汚染
• 液体窒素バッフル

透過電子顕微鏡基本用語集

試料汚染防止装置

【英】：anti-contamination device

液体窒素で冷却され試料を取り囲む薄板(フィン)で冷却されたフィンのガス凝結作用により、試料汚染の原因となる炭化水素が試料へ付着するのを抑える装置。電子ビームが通過する開口が上下にあり、試料ホルダの先端（試料部）が側面の開放部からフィン内部に挿入される。

関連する用語

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