試料冷却ステージ

走査電子顕微鏡基本用語集

試料冷却ステージ　specimen cooling stage,cooling stage,cold stage

低温下での試料の表面形態を観察するための試料ステージ。試料損傷を抑制したり、カソードルミネッセンス分析でエネルギー分解能を上げるといったことにも使われる。液体窒素で冷却するもの、液体ヘリウムで冷却するもの、ペルチェ素子を使って冷却するものなどがある。試料ステージの温度は、液体窒素では80K程度、液体ヘリウムを使った場合は5〜15Kまで冷却することができるが、ペルチェ冷却では250K程度が限界である。試料を冷却すると、試料表面に霜が付いたり、試料汚染が起こる可能性があるので、試料汚染防止装置を併用するのが望ましい。

関連する用語

• 試料ステージ
• クライオステージ
• クールステージ
• 試料損傷
• エネルギー分解能
• 試料汚染