低エネルギー電子顕微鏡（リーム）
略語：LEEM
【英】：low energy electron microscope
入射電子線のエネルギーを電場で数ボルトから数百ボルトに低減して試料に照射し、試料から後方弾性散乱された電子を試料直上の電場で加速し、結像レンズによって拡大像をスクリーンもしくは撮像カメラによって観察する装置。空間分解能は5〜10nm程度。結像レンズ系で回折パターンを形成し、絞りでLEED (low energy electron diffraction) の回折スポットを選択して暗視野像を得ることもできる。表面構造の研究に使われ、試料周りは超高真空に保たれる。また、結像系が同一なPEEM (photo emission electron microscope)の機能が付加されていることが多い。
【英】：low energy electron microscope
入射電子線のエネルギーを電場で数ボルトから数百ボルトに低減して試料に照射し、試料から後方弾性散乱された電子を試料直上の電場で加速し、結像レンズによって拡大像をスクリーンもしくは撮像カメラによって観察する装置。空間分解能は5〜10nm程度。結像レンズ系で回折パターンを形成し、絞りでLEED (low energy electron diffraction) の回折スポットを選択して暗視野像を得ることもできる。表面構造の研究に使われ、試料周りは超高真空に保たれる。また、結像系が同一なPEEM (photo emission electron microscope)の機能が付加されていることが多い。
低エネルギー電子顕微鏡（リーム）
略語：LEEM
【英】：low energy electron microscope
入射電子線のエネルギーを電場で数ボルトから数百ボルトに低減して試料に照射し、試料から後方弾性散乱された電子を試料直上の電場で加速し、結像レンズによって拡大像をスクリーンもしくは撮像カメラによって観察する装置。空間分解能は5〜10nm程度。結像レンズ系で回折パターンを形成し、絞りでLEED (low energy electron diffraction) の回折スポットを選択して暗視野像を得ることもできる。表面構造の研究に使われ、試料周りは超高真空に保たれる。また、結像系が同一なPEEM (photo emission electron microscope)の機能が付加されていることが多い。
【英】：low energy electron microscope
入射電子線のエネルギーを電場で数ボルトから数百ボルトに低減して試料に照射し、試料から後方弾性散乱された電子を試料直上の電場で加速し、結像レンズによって拡大像をスクリーンもしくは撮像カメラによって観察する装置。空間分解能は5〜10nm程度。結像レンズ系で回折パターンを形成し、絞りでLEED (low energy electron diffraction) の回折スポットを選択して暗視野像を得ることもできる。表面構造の研究に使われ、試料周りは超高真空に保たれる。また、結像系が同一なPEEM (photo emission electron microscope)の機能が付加されていることが多い。
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