electron probe micro analyzer

走査電子顕微鏡基本用語集

X線マイクロアナライザ　X-ray microanalyzer,electron probe microanalyzer

電子プローブマイクロアナライザと同義語。最近では使われることが少なくなった用語である。

関連する用語

• 電子プローブマイクロアナライザ

電子プローブマイクロアナライザ（電子線マイクロアナライザ）　EPMA: electron probe microanalyzer

電子を照射したとき試料から放出される特性X線の波長を分光して、照射領域に存在する元素の同定および濃度の分析を行う装置。分析領域は横方向、深さ方向とも数百nm〜数µmである。分析機能を重視することから、数基のWDSと、分光条件に合わせるための光学顕微鏡を備えている。電子プローブの走査機能を持っているのでSEM像の取得のほか元素マッピングなどを行うことができるが、SEMと違って試料ステージには傾斜機構、回転機構が無いのが普通である。なお、EDSを取り付けたSEMをEPMAと呼ぶ場合がある。

関連する用語

• WDS
• 特性X線
• 分析領域
• 電子プローブ
• 元素マッピング
• 試料ステージ

透過電子顕微鏡基本用語集

電子プローブマイクロアナライザ（イーピーエムエー）

略語：EPMA
【英】：electron-probe microanalyzer

走査電子顕微鏡に特性X線の分光分析用のWDS(EDSも付加できる)機能を付加した装置。バルク試料の表面の非破壊で 定性および定量分析に用いられる。WDSを用いているので、スペクトルの分解能、検出器の不感時間においてEDSよりも優れている。

関連する用語

• 波長分散型X線分光
• WDS
• エネルギー分散型X線分光
• EDS

スラグ用語集

EPMA

別名：いーぴーえむえい
【英】：electron probe micro analyzer

顕微鏡下の微小部の分析に使用される。電子線を1μm以下の微小径に収束し、照射点より発生するX線を分光分析して微小部の元素分析を行う。X線の発生以外にも電子線照射によって生ずる種々の物理現象を利用して各種の分析ができる。

電子線微小部分析器

読み方：でんしせんびさいぶぶんせきき
【英】：electron probe micro analyzer

顕微鏡下の微小部の分析に使用される。電子線を1μm以下の微小径に収束し、照射点より発生するX線を分光分析して微小部の元素分析を行う。X線の発生以外にも電子線照射によって生ずる種々の物理現象を利用して各種の分析ができる。

Weblio日本語例文用例辞書

「electron probe micro analyzer」の例文・使い方・用例・文例

• チューリッヒの年次総会の様子を詳しく説明する前に、研究開発部がようやくHyper Z microphoneの試作品を提出したことを報告したいと思います。