いーぴーえむえいとは? わかりやすく解説

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EPMA

別名:いーぴーえむえい
【英】:electron probe micro analyzer

顕微鏡下の微小部の分析使用される電子線を1μm以下の微小径に収束し照射点より発生するX線分光分析して微小部の元素分析を行う。X線の発生以外にも電子線照射によって生ず種々の物理現象利用して各種分析ができる。



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