リークテストの種類
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/03/11 13:39 UTC 版)
方式名被試験物内部被試験物外部検知原理プローブまたは使用流体検知可能範囲(Pa･m3/s)備考真空放置法 真空 大気圧 圧力上昇 - 10-6～10-8 ビルドアップテストともいう 加圧発泡法 加圧 大気圧 気泡 加圧大気(石けん水) 10-2～10-3 石けん水を塗布する塗布剤商品もあり。 水中発泡法 加圧 大気圧 水槽中に発生する気泡 加圧大気 10-4～10-5 水槽に石けん水を使用すれば感度があがる。 ハロゲンリークディテクタ法 加圧 大気圧 ハロゲンガスの電離 ハロゲンガス(フレオンなど) 10-5～10-9 商品あり。スニファ法による。 ヘリウムリークテスト法 真空 大気圧又は加圧 質量分析によるヘリウム検知 ヘリウム 10-11～10-13 外覆法、吹きつけ法。 真空計法 真空 大気圧 大気とプローブ水槽中に発生する気泡 アルコール、ヘリウム、ブタンなど 10-1～10-9 状況に応じてピラニ真空計、電離真空計。 残留ガス分析法 真空 大気圧 プローブ物質ピーク検出 アルコール、ヘリウム、ブタンなど 10-10 残留ガス分析計使用。 イオンポンプ法 真空 大気圧 イオンポンプの放電電流変化 ヘリウム他 10-3～10-9 スパッタイオンポンプ利用。 ガイスラー管法 真空 大気圧 放電色の変化 ヘリウム、アルコール、他 10-2 積分法で見ることもできる。有機物は青白、空気は赤紫色。 カラーチェック 大気圧 大気圧 赤浸透液、白現像液の拭きつけ - 10-5 商品あり。孔のつまりに注意。 フロンポンピング法 大気圧 大気圧 フロンFC78、液のFC43、液中での気化と発砲 フロン液 10-6 ポンピングおよび加熱装置要。
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