リークテスト

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リークテスト

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/03/11 13:39 UTC 版)

リークテストは、真空装置のリーク（漏れ）を確認するためのテストである。真空で言うリーク（漏れ）とは真空チャンバーの微小な穴、シール不良などによる想定外の外部からの気体の流入を指し、チャンバー壁の放出ガスや真空フランジのシール、窓などの透過するガスについてはリークとは区別される。リークテストは微小な穴などの検知を行なうものであるため、圧力容器や溶接の漏れ探しでも同様の方法をとられることが多い。