エネルギー分散型X線分析
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出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2024/06/27 17:48 UTC 版)
エネルギー分散型X線分析(エネルギーぶんさんがたXせんぶんせき、Energy dispersive X-ray spectroscopy、EDX、EDS)は、広義の意味として、電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線(蛍光X線)を半導体検出器に導入し、発生した電子-正孔対のエネルギーと個数から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である[1]。
- 1 エネルギー分散型X線分析とは
- 2 エネルギー分散型X線分析の概要
- 3 特徴
- 4 関連項目
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