シリコンドリフト検出器

走査電子顕微鏡基本用語集

シリコンドリフト検出器　SDD: silicon-drift detector

EDS検出器の一種。通常のSi(Li)検出器に比べて数十倍高い計数率で測定ができるため、プローブ電流を大きくして短時間で分析を行うことができる。したがって、熱電子銃、あるいはショットキー電子銃を搭載したSEMとの組み合わせが有効である。エネルギー分解能は、Si(Li)検出器とほぼ同程度が得られるが、低エネルギーX線の感度は低い。液体窒素冷却は不要で、ペルチェ冷却での動作が可能である。この結果、電源投入後、使用可能になるまでの時間も短い。

関連する用語

• EDS検出器
• Si(Li)検出器
• 計数率
• プローブ電流
• 熱電子銃
• ショットキー電子銃
• エネルギー分解能

透過電子顕微鏡基本用語集

シリコンドリフト検出器

略語：SDD
【英】：silicon drift detector

エネルギー分散型X線検出器のひとつ。入射X線によって、Liを拡散させたP型Siから発生した電子を、同心円状の電位勾配を持った電極構造により効率よくアノードに導くようにした素子で、Siの不純物コントロールによって、熱ノイズの減少が図られており、ペルチェ冷却による−15℃程度の冷却で使用できる。SDDの利点は、分解能がSSDと同程度で、SSDに比較して計数率は1桁以上高い（＞1×10⁵cps）ことである。EDS装置の検出器に使われる。

関連する用語

• 半導体検出器
• SSD

ウィキペディア

シリコンドリフト検出器

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2016/10/09 02:51 UTC 版)

シリコンドリフト検出器（シリコンドリフトけんしゅつき、Silicon Drift Detector、SDD）は、エネルギー分散型X線検出器(Energy Dispersive X-ray Detector)の一種であり、半導体検出器である。従来のシリコン半導体検出器(Si(Li)検出器)に比べ、同じエネルギー分解能で、高計数での処理が可能である。つまり、良いエネルギー分解能を維持したまま、多くのX線を計数することが可能である。さらに、ペルティエ素子での冷却による動作が可能であるため、液体窒素による冷却が必要ないので、検出器全体が小型かつ軽量である。

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シリコンドリフト検出器(略称：SDD)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/09/25 23:12 UTC 版)

「半導体検出器」の記事における「シリコンドリフト検出器(略称：SDD)」の解説

Siにドリフト電圧を印加した検出器である。Si(Li)に比べ、高エネルギー側の感度が悪いが、高いエネルギー分解能を維持したまま、多くのＸ線を計数することが可能である。近年、エネルギー分散型X線分析では、SDDが主流となってきている。液体窒素温度まで冷却する必要がなく、ペルチィエ冷却で使用できるため、小型かつ軽量となっている。