EDS検出器とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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EDS検出器　EDS detector

EDSで用いられる検出器。一般には、Si(Li)検出器やシリコンドリフト検出器などの半導体検出器が用いられている。EDS検出器に入射したX線はそのエネルギーに比例した数の電子−正孔対を作るので、これを電流として取り出し、測定することで入射したX線のエネルギーを知ることができる。なお、入射 X線により発生する熱を測定して X線のエネルギーを知るマイクロカロリメトリー検出器が開発されている。

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