透過電子顕微鏡基本用語集 |
 
|
ウルトラ・スィン・ウィンドウ型EDS検出器
【英】：ultra-thin window (UTW) EDS detector
アルミニウムを蒸着した厚さ0.3〜0.5μmの有機薄膜を、半導体検出器の真空を保持するための窓材として使用するEDS検出器のこと。ベリリウム・ウィンドウ型に比べて、検出器の真空保持は充分にはできないが、窓でのX線の吸収が少ないので、ボロン以上の軽元素が高感度で検出できる。最近は、このタイプの検出器が主に用いられている。
アルミニウムを蒸着した厚さ0.3〜0.5μmの有機薄膜を、半導体検出器の真空を保持するための窓材として使用するEDS検出器のこと。ベリリウム・ウィンドウ型に比べて、検出器の真空保持は充分にはできないが、窓でのX線の吸収が少ないので、ボロン以上の軽元素が高感度で検出できる。最近は、このタイプの検出器が主に用いられている。
関連する用語
- ベリリウム・ウィンドウ型EDS検出器
- ウィンドウレス（窓材無し）型EDS検出器
ウルトラ・スィン・ウィンドウ型EDS検出器のページへのリンク
