走査電子顕微鏡基本用語集

エネルギー分散X線分光法　EDS,EDX: energy dispersive X-ray spectrometry

エネルギー分散形X線分光器を使ったX線分光法。分析元素範囲はB〜Uである。全元素範囲の同時分析ができる、分析時のプローブ電流が小さくて済むなどの特長もあるが、エネルギー分解能、検出限界などではWDSの方が有利である。SEMでの元素分析は、ほとんどがこの方法による。

関連する用語

• WDS
• プローブ電流
• エネルギー分解能
• 検出限界

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エネルギー分散形X線分光器　EDS,EDX: energy dispersive X-ray spectrometer

X線をエネルギーで弁別し、スペクトルを得る分光器。一般には、半導体を使ったEDS検出器が用いられており、分析元素範囲はB〜Uである。EDS検出器、多重波高分析器、パーソナルコンピュータなどでシステムが構成されているが、WDSに比べて、検出器の取り付けに幾何学的な制限が少ないので多くのSEMに取り付けられている。全元素範囲の同時分析ができる、分析時のプローブ電流が小さくて済むなどの特長もあるが、エネルギー分解能、検出限界などではWDSの方が有利である。

関連する用語

• EDS検出器
• 多重波高分析器
• WDS
• プローブ電流
• エネルギー分解能
• 検出限界

透過電子顕微鏡基本用語集

エネルギー分散型X線分光（イーディーエス）

略語：EDS
【英】：energy-dispersive X-ray spectroscopy

試料から発生した特性X線を直接半導体検出器で検出し、電気信号に変えて分光分析する手法。検出した特性X線のエネルギーに比例したパルス電流を生じさせ、これを多チャンネル波高分析器で選別して測定する。波長分散型と比べ軽い元素(B: ボロン以下)は分析できないが、X線の検出効率は高い。照射電流量は波長分散型より少なくてすむので(数pA〜数nA)試料へのダメージは少ない。通常の分解能は〜140eV（Mn: マンガンのKα発光(5.9keV)に対して）程度である。統計誤差で決まる分解能は発生X線のエネルギーEの平方根×√3程度である（生成される電子数nは、バンドギャップエネルギーを〜3eVとして、n〜E/3、統計誤差Δn〜√n。したがって、エネルギー巾（誤差）〜Δn・3＝√E・√3）。最近はBe(ベリリウム)も分解できる検出器も開発されている。定量精度は0.5〜5％である。EDSはEPMA（分光結晶を用いる）に比べて、空間分解能は2桁高いが分析の定量精度は1桁悪い。略称はEDSであるが、EDXともいう。

関連する用語

• 特性X線
• 半導体検出器
• SSD
• エスケープピーク
• サムピーク
• 波長分散型X線分光
• WDS

ウィキペディア

EDS

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2009/09/15 13:02 UTC 版)

EDS

• Electronic Data Systems - 米国のシステムコンサルティング会社。ヒューレット・パッカード社に買収。
• Extended Data Services - 米国のテレビで使用されるキャプション信号。
• エネルギー分散型X線分析 (Energy Dispersive x-ray Spectroscopy) - 元素分析の手法のひとつ。

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