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エネルギー分散型X線分析

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2012/03/05 09:49 UTC 版)

エネルギー分散型X線分析(Energy dispersive X-ray spectrometry)は、広義の意味として、電子線やＸ線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線もしくは蛍光X線を半導体検出器などのようなエネルギー分散型検出器にて検出し、そのエネルギーと強度から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である。