ショットキー電子銃とは?

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ショットキー電子銃(SE電子銃) Schottky-emission electron gun,SE electron gun

ショットキー放出利用した電子銃陰極としてはZrO/Wエミッタが使われる。熱電子銃比べ輝度が高く、電子源小さい。電界放出電子銃比較すると、陰極が1800Kという高温度に加熱されているため、電流安定度が高いこと、大きなプローブ電流が得られること、動作圧力若干高くても良いこと、などの優位性を持つ。これらのことから、高分解能観察分析機能両立させたいときに用いられる。低加速電圧観察では、電界放出電子銃がやや優れているが、これは、放出電子エネルギー幅が関係している。加熱形FE電子銃呼ばれることもある。
下図にショットキー電子銃の構造を示す。引出電極印加された引出電圧によって所定電流電子放出させ、加速電極印加された加速電圧によって所定エネルギー電子線を得るものであるサプレッサエミッタから放出される熱電子抑制するための電極である。
ショットキー電子銃

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