走査電子顕微鏡基本用語集

エネルギー分解能（スペクトル分解能）　energy resolution,spectrum resolution

X線分光器などのエネルギーアナライザの性能を表す用語。スペクトル中に現れるピークの半値幅で表すが、どの位接近したエネルギーが分離観測できるかを意味する。X線分光器の場合はFeのKa線付近のピークにより定義され、EDSでは130eV程度、WDSでは10eV程度が得られている。

関連する用語

• エネルギーアナライザ
• EDS
• WDS

透過電子顕微鏡基本用語集

エネルギー分解能

【英】：energy resolution

分光分析において、スペクトルの判別可能な最小エネルギー(eV)。EDSでは、分解能は検出器によって決まり、130〜140eV程度、WDSでは約10eVであるが、最近では1eV以下のものもある。EELSでは、入射電子線のエネルギー幅が、ほぼを決める。電界放出型電子銃を利用した通常のEELSでは0.7eV程度である。モノクロメータを持つ電子銃の場合は0.2eV程度である。

関連する用語

• 電界放出型電子銃
• モノクロメータ
• エネルギー分散型X線分光
• EDS
• 波長分散型X線分光
• WDS
• 電子エネルギー損失分光
• EELS

説明に「エネルギー分解能」が含まれている用語

• エネルギー分解能
• カソードルミネセンス
• カロリメータ
• モノクロメータ
• リターディング
• 状態密度
• 電界放出型電子銃
• 冷陰極電界放出型電子銃

原子力防災基礎用語集

エネルギー分解能

｢エネルギー分解能｣は、放射線のエネルギー測定の精度を表す指標である。 アルファ線やガンマ線のエネルギーを測定する際、その全エネルギーを検出器中で失った場合、その放射線のエネルギースペクトルは原理的には線スペクトルとなるが、実際の検出器では、ある広がりを持った分布スペクトルとして検出される。そのスペクトル分布の広がりを％またはkeVで表す。ガンマ線に対するエネルギー分解能は、NaIシンチレーション検出器では５％から15％程度であまり良くないが、半導体検出器では１％以下の分解能をもっている。