Trichlorosilane

実用日本語表現辞典

トリクロロシラン

英語：trichlorosilane

珪素原子を中心として、3つの塩素と1つの水素が共有結合した化合物。半導体や太陽電池などに利用される高純度のシリコンを製造する際に、原料として用いられることが多い。トリクロロシランは反応性が高く、水と反応すると容易に加水分解するとともに発熱・発火することから、消防法で第3類危険物に規定されている。

（2014年1月10日更新）

日本化学物質辞書Web

トリクロロシラン

分子式：	Cl3HSi
その他の名称：	シリコクロロホルム、Silicochloroform、Trichlorosilane、三塩化シラン、Silane trichloride
体系名：	トリクロロシラン

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トリクロロシラン

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/02/16 17:51 UTC 版)

トリクロロシラン
IUPAC名 トリクロロシラン
識別情報
CAS登録番号	10025-78-2
EC番号	233-042-5
国連/北米番号	1295
RTECS番号	VV5950000
SMILES [H][Si](Cl)(Cl)Cl
特性
化学式	HCl3Si
モル質量	135.45 g/mol
外観	無色液体
密度	1.342 kg/m3
融点	-126.6 ℃
沸点	31.8 ℃
水への溶解度	水と反応
危険性
安全データシート(外部リンク)	ICSC 0591
NFPA 704	4 3 2 W
Rフレーズ	R12, R14, R17, R20/22, R29, R35
Sフレーズ	(S2), S7/9, S16, S26, S36/37/39, S43, S45
引火点	-27 ℃
発火点	185 ℃
爆発限界	1.2–90.5%
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

トリクロロシラン（英: trichlorosilane）は、ケイ素、塩素、水素から成る無機化合物で、分子式は HSiCl₃ と表される。高温で熱分解を起こして単体ケイ素に変わる性質から、半導体工業において高純度ケイ素の主原料として利用される。水と触れると速やかに分解してシリコーンのポリマーおよび塩化水素となる。反応性が高く入手が容易であることから、有機ケイ素化合物の原料ともされる。

製造

工業的には、トリクロロシランは塩化水素のガスを 300 ℃ でケイ素の粉末に吹き付けて製造する。下式のように、トリクロロシランとともに水素が生じる。

${\rm {Si+3HCl\longrightarrow HSiCl_{3}+H_{2}}}$