フッ化タングステン(VI)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/08/29 02:17 UTC 版)
ナビゲーションに移動 検索に移動フッ化タングステン(VI) | |
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六フッ化タングステン | |
識別情報 | |
CAS登録番号 | 7783-82-6 |
PubChem | 522684 |
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特性 | |
化学式 | WF6 |
モル質量 | 297.830 g/mol |
外観 | 無色気体 |
密度 | 12.4 g/L、気体 4.56 g/cm3 (-9 °C、固体) |
融点 |
2.3 °C, 275 K, 36 °F |
沸点 |
17.1 °C, 290 K, 63 °F |
水への溶解度 | 加水分解 |
構造 | |
分子の形 | 正八面体 |
双極子モーメント | 0 |
危険性 | |
EU Index | 不記載 |
引火点 | 不燃性 |
関連する物質 | |
その他の陰イオン | 塩化タングステン(VI) 臭化タングステン(VI) |
その他の陽イオン | フッ化クロム(IV) フッ化モリブデン(IV) |
関連物質 | フッ化タングステン(IV) フッ化タングステン(V) |
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。 |
性質
WF6の常圧(100kPa)における沸点は17.1°Cであるため、室温付近では気体または液体として存在している。反磁性を有し気相では無色である。WF6分子は点群Ohで表される八面体形分子構造を取る。タングステン原子とフッ素原子間のW-F結合の結合距離は183.2 pmである。融点は2.3°Cであり、2.3°Cから17.1°Cの狭い温度範囲においては凝縮して淡黄色の液体となる。液体状態での密度は15°Cにおいて3.44 g/cm3。2.3°C以下で凝固して白色の立方晶固体となる。固体状態における格子定数は628 pm、計算密度は3.99 g/cm3である。-9°C以下で斜方晶に転移し、その格子定数はa = 960.3 pm、b = 871.3 pm、c = 504.4 pmであり、密度は4.56 g/cm3。この相でのW-F結合の結合距離は181 pmであり、最近接分子間距離は312 pmである。気体状態のWF6ガスは最も重い気体元素であるラドンの9.73 g/Lよりもさらに重いが、一方で液体および固体のWF6の密度はむしろ中程度である。WF6の蒸気圧は- 70°Cから17°Cの間では以下の式で記述することができる[6][7]。
合成
WF6は通常、フッ素ガスと金属タングステン粉末を350から400°Cで反応させることで製造される[8]。
通常、この反応ではオキシフッ化タングステン (WOF4) が副生し不純物となるため、得られたガス状の生成物を凝縮および蒸留によって分離精製を行う。このようなフッ素との直接反応では、金属タングステンを加熱した反応容器に入れ1.2から2.0 psi (8.3から14 kPa)にわずかに加圧し、生成したWF6が一定の流量で安定して流出するように少量のフッ素ガスを吹き込む[9]。
上記の方法におけるフッ素ガスはフッ化塩素 (ClF)、フッ化塩素(III) (ClF3) もしくはフッ化臭素(III) (BrF3) に置き換えることも出来る。WF6を合成する他の方法としては、酸化タングステン(III)をフッ化水素 (HF)、フッ化臭素(III) (BrF3) もしくは四フッ化硫黄 (SF4) と反応させることによっても合成することができる。WF6はまた、塩化タングステン(VI)からも合成することができる[1]。
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- ^ Roucan, J.-P.; Noël-Dutriaux, M.-C.. Proprietes Physiques des Composes Mineraux. Ed. Techniques Ingénieur. p. 138
- ^ Gas chart
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- ^ “Tungsten and Tungsten Silicide Chemical Vapor Deposition”. CVD Fundamentals. TimeDomain CVD. 2013年12月14日閲覧。
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- ^ US patent 6544889, "Method for tungsten chemical vapor deposition on a semiconductor substrate", issued 2003-04-08
- ^ Greenwood, N. N.; Earnshaw, A. (1997). Chemistry of the Elements (2nd ed.). Oxford: Butterworth-Heinemann. ISBN 0-7506-3365-4
- ^ Aigueperse, J.; Mollard, P.; Devilliers, D.; Chemla, M.; Faron, R.; Romano, R.; Cuer, J.-P. (2005). "Fluorine Compounds, Inorganic". In Ullmann (ed.). Encyclopedia of Industrial Chemistry. Weinheim: Wiley-VCH.
- ^ Kirss, R. U.; Meda, L. (1998). “Chemical vapor deposition of tungsten oxide”. Applied Organometallic Chemistry 12 (3): 155–160. doi:10.1002/(SICI)1099-0739(199803)12:3<155::AID-AOC688>3.0.CO;2-Z.
- ^ Ifeacho, P. (2008). Semi-conducting metal oxide nanoparticles from a low-pressure premixed H2/O2/Ar flame: Synthesis and Characterization. Göttingen: Cuvillier Verlag. p. 64. ISBN 3-86727-816-4
- ^ “Tungsten hexafluoride MSDS (pdf)”. Linde Gas. 2013年12月21日閲覧。
- ^ Haaland, A.; Hammel, A.; Rypdal, K.; Volden, H. V. (1990). “The coordination geometry of gaseous hexamethyltungsten is not octahedral”. Journal of the American Chemical Society 112 (11): 4547–4549. doi:10.1021/ja00167a065.
- ^ Weinhold, F.; Landis, C. R. (2005). Valency and bonding: a natural bond orbital donor-acceptor perspective. Cambridge University Press. p. 427. ISBN 0-521-83128-8
- 1 フッ化タングステン(VI)とは
- 2 フッ化タングステン(VI)の概要
- 3 反応
- 4 半導体産業における用途
- 5 その他の用途
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