反射電子とは? わかりやすく解説

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反射電子

【英】:backscattered electron

とは、入射電子後方背面反射(散乱)され、試料表面から飛び出す電子である。の強度試料原子番号大きいほど大きい。のエネルギー入射電子エネルギーに近いので、二次電子エネルギーより高い。また、二次電子よりも深い所(表面から100nm以内)から飛び出すことができる。原子番号大きいほどは多くなるので像から試料組成違いがわかる。または鏡面反射方向に強い強度を持つので試料表面凹凸もわかる。試料結晶場合、の強度試料対す入射電子線の方位強く依存する(電子チャンネリング)ので、試料の像を撮ると、試料中の結晶方位違いを示す像が得られる

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