(2E)-2-エトキシ-2-オクテン-4,6-ジインジニトリル
(2Z)-2-エトキシ-2-オクテン-4,6-ジインジニトリル
(E)-[3-イミノイソベンゾフラン-1(3H)-イリデン]アセトニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | (E)-[3-Iminoisobenzofuran-1(3H)-ylidene]acetonitrile |
体系名: | (E)-[3-イミノイソベンゾフラン-1(3H)-イリデン]アセトニトリル |
(Z)-[3-イミノイソベンゾフラン-1(3H)-イリデン]アセトニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | (Z)-[3-Iminoisobenzofuran-1(3H)-ylidene]acetonitrile |
体系名: | (Z)-[3-イミノイソベンゾフラン-1(3H)-イリデン]アセトニトリル |
1,2-ジヒドロ-2-オキソキノリン-3-カルボニトリル
1,3-ベンゾオキサゼピン-2-カルボニトリル
1,4-ジヒドロ-4-オキソキノリン-3-カルボニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 1,4-Dihydro-4-oxoquinoline-3-carbonitrile、4-Oxo-1,4-dihydroquinoline-3-carbonitrile |
体系名: | 1,4-ジヒドロ-4-オキソキノリン-3-カルボニトリル、4-オキソ-1,4-ジヒドロキノリン-3-カルボニトリル |
1,8-ジアザジベンゾフラン
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 1,8-Diazadibenzofuran、3,5-Diaza-9-oxa-9H-fluorene |
体系名: | 1,8-ジアザジベンゾフラン、3,5-ジアザ-9-オキサ-9H-フルオレン |
1-(1H-インダゾール-3-イル)-2-プロピン-1-オン
1-オキソ-1,2-ジヒドロイソキノリン-3-カルボニトリル
1-オキソ-1,2-ジヒドロイソキノリン-4-カルボニトリル
1-オキソ-3-アミノ-1H-インデン-2-カルボニトリル
1-シアノ-2H-キノリジン-2-オン
1-シアノイソキノリン2-オキシド
1-ジアゾアズレン-2(1H)-オン
1-ジアゾアズレン-4(1H)-オン
1-ジアゾアズレン-5(1H)-オン
1-ジアゾアズレン-6(1H)-オン
1-ジアゾアズレン-7(1H)-オン
1-ジアゾアズレン-8(1H)-オン
1‐ジアゾナフタレン‐2(1H)‐オン
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 1-Diazonaphthalene-2-one、1-Diazonaphthalene-2(1H)-one |
体系名: | 1-ジアゾナフタレン-2-オン、1-ジアゾナフタレン-2(1H)-オン |
2,6-ジアザジベンゾフラン
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 2,6-Diazadibenzofuran、Furo[2,3-b:4,5-c']dipyridine |
体系名: | 2,6-ジアザジベンゾフラン、フロ[2,3-b:4,5-c']ジピリジン |
2,7-ジアザジベンゾフラン
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 2,7-Diazadibenzofuran、Furo[2,3-c:4,5-c']dipyridine |
体系名: | 2,7-ジアザジベンゾフラン、フロ[2,3-c:4,5-c']ジピリジン |
2-(2-シアノビニル)フェニルイソシアナート
2‐(2‐ヒドロキシベンジリデン)マロノニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | Salicylidenemalononitrile、2-(2-Hydroxybenzylidene)malononitrile、(2-Hydroxybenzylidene)malononitrile、2-Hydroxybenzylidenemalononitrile |
体系名: | サリチリデンマロノニトリル、2-(2-ヒドロキシベンジリデン)マロノニトリル、(2-ヒドロキシベンジリデン)マロノニトリル、2-ヒドロキシベンジリデンマロノニトリル |
2-(4-ホルミルフェニル)マロノニトリル
2-[(3E)-2-オキソインドリン-3-イリデン]アセトニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 2-[(3E)-2-Oxoindoline-3-ylidene]acetonitrile、[(E)-2-Oxo-2,3-dihydro-1H-indole-3-ylidene]acetonitrile |
体系名: | 2-[(3E)-2-オキソインドリン-3-イリデン]アセトニトリル、[(E)-2-オキソ-2,3-ジヒドロ-1H-インドール-3-イリデン]アセトニトリル |
2-[(3Z)-2-オキソインドリン-3-イリデン]アセトニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 2-[(3Z)-2-Oxoindoline-3-ylidene]acetonitrile、[(Z)-2-Oxo-2,3-dihydro-1H-indole-3-ylidene]acetonitrile |
体系名: | 2-[(3Z)-2-オキソインドリン-3-イリデン]アセトニトリル、[(Z)-2-オキソ-2,3-ジヒドロ-1H-インドール-3-イリデン]アセトニトリル |
2-イミノ-2H-1-ベンゾピラン-3-カルボニトリル
2‐シアノキノリン1‐オキシド
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | Quinaldonitrile1 1-oxide、キナルドニトリル1-オキシド、Quinoline-2-carbonitrile 1-oxide、2-Cyanoquinoline 1-oxide |
体系名: | キノリン-2-カルボニトリル1-オキシド、2-シアノキノリン1-オキシド |
2-ジアゾアズレン-4(2H)-オン
2-ジアゾアズレン-6(2H)-オン
2-ジアゾナフタレン-1(2H)-オン
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 2-Diazo-1(2H)-naphthalenone、2-Diazonaphthalen-1(2H)-one |
体系名: | 2-ジアゾナフタレン-1(2H)-オン、2-ジアゾ-1(2H)-ナフタレノン |
2-フェニルオキサゾール-4-カルボニトリル
2-ベンゾイルマロノニトリル
2′‐エチニル‐α‐ジアゾアセトフェノン
3,1-ベンゾオキサゼピン-2-カルボニトリル
3-(オキサゾール-5-イル)ベンゾニトリル
3‐(シアノカルボニル)‐1H‐インドール
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | α-Oxo-1H-indole-3-acetonitrile、Oxo(1H-indole-3-yl)acetonitrile、(1H-Indole-3-ylcarbonyl) cyanide、3-(Cyanocarbonyl)-1H-indole |
体系名: | α-オキソ-1H-インドール-3-アセトニトリル、オキソ(1H-インドール-3-イル)アセトニトリル、(1H-インドール-3-イルカルボニル)シアニド、3-(シアノカルボニル)-1H-インドール |
3-(ジアゾアセチル)ベンゾシクロブテン
3‐シアノキノリン1‐オキシド
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 3-Quinolinecarbonitrile 1-oxide、3-Cyanoquinoline 1-oxide |
体系名: | 3-キノリンカルボニトリル1-オキシド、3-シアノキノリン1-オキシド |
3‐ヒドロキシキナルドニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 3-ヒドロキシキナルドニトリル、3-Hydroxyquinaldonitrile、3-Hydroxyquinoline-2-carbonitrile |
体系名: | 3-ヒドロキシキノリン-2-カルボニトリル |
3‐ヒドロキシベンジリデンマロノニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 2-(3-Hydroxybenzylidene)malononitrile、3-Hydroxybenzylidenemalononitrile、(3-Hydroxybenzylidene)malononitrile |
体系名: | 2-(3-ヒドロキシベンジリデン)マロノニトリル、3-ヒドロキシベンジリデンマロノニトリル、(3-ヒドロキシベンジリデン)マロノニトリル |
3-フェニルイソオキサゾール-5-カルボニトリル
3-フェニルオキシラン-2,2-ジカルボニトリル
4H-ピラゾロ[1,5-a]インドール-4-オン
4-(5-イソオキサゾリル)ベンゾニトリル
4‐(5‐オキサゾリル)ベンゾニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 4-(Oxazole-5-yl)benzonitrile、4-(5-Oxazolyl)benzonitrile、5-(4-Cyanophenyl)oxazole |
体系名: | 4-(オキサゾール-5-イル)ベンゾニトリル、4-(5-オキサゾリル)ベンゾニトリル、5-(4-シアノフェニル)オキサゾール |
4-オキソ-1,4-ジヒドロキノリン-2-カルボニトリル
4-オキソ-4H-キノリジン-1-カルボニトリル
4-シアノキノリン1-オキシド
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 4-Cyanoquinoline 1-oxide、4-Quinolinecarbonitrile 1-oxide |
体系名: | 4-シアノキノリン1-オキシド、4-キノリンカルボニトリル1-オキシド |
4-ジアゾアズレン-5(4H)-オン
4-ジアゾアズレン-7(4H)-オン
4-ジアゾナフタレン-1(4H)-オン
4‐ヒドロキシベンジリデンマロノニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | p-Hydroxybenzylidenemalononitrile、2-(4-Hydroxybenzylidene)malononitrile、(4-Hydroxybenzylidene)malononitrile、2-(4-Hydroxybenzylidene)propanedinitrile、4-Hydroxybenzylidenemalononitrile、チルホスチンA-8、Tyrphostin A-8、チルホスチンAG-10、Tyrphostin AG-10 |
体系名: | 2-(4-ヒドロキシフェニル)エテン-1,1-ジカルボニトリル、2-(4-ヒドロキシベンジリデン)マロノニトリル、p-ヒドロキシベンジリデンマロノニトリル、(4-ヒドロキシベンジリデン)マロノニトリル、2-(4-ヒドロキシベンジリデン)プロパンジニトリル、4-ヒドロキシベンジリデンマロノニトリル |
5H-イミダゾ[2,1-a]イソインドール-5-オン
5H-イミダゾ[5,1-a]イソインドール-5-オン
5-オキソ-1,2,4,5-テトラヒドロペンタレン-2,2-ジカルボニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 5-Oxo-1,2,4,5-tetrahydropentalene-2,2-dicarbonitrile |
体系名: | 5-オキソ-1,2,4,5-テトラヒドロペンタレン-2,2-ジカルボニトリル |
5-フェニルイソオキサゾール-3-カルボニトリル
5-フェニルオキサゾール-4-カルボニトリル
6-ヒドロキシキノリン-5-カルボニトリル
8H-3a,4-ジアザシクロペンタ[a]インデン-8-オン
8H-ピラゾロ[5,1-a]イソインドール-8-オン
8‐ヒドロキシキノリン‐2‐カルボニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | 8-Hydroxy-2-quinolinecarbonitrile、8-Hydroxyquinoline-2-carbonitrile、2-Cyano-8-hydroxyquinoline |
体系名: | 8-ヒドロキシ-2-キノリンカルボニトリル、8-ヒドロキシキノリン-2-カルボニトリル、2-シアノ-8-ヒドロキシキノリン |
9-オキサトリシクロ[4.2.1.02,5]ノナ-3,7-ジエン-2,3-ジカルボニトリル
分子式: | C10H6N2O |
慣用名: | 9-Oxatricyclo[4.2.1.02,5]nona-3,7-diene-2,3-dicarbonitrile |
体系名: | 9-オキサトリシクロ[4.2.1.02,5]ノナ-3,7-ジエン-2,3-ジカルボニトリル |
β-オキソ-4-シアノベンゼンプロパンニトリル
分子式: | C10H6N2O |
その他の名称: | β-Oxo-4-cyanobenzenepropanenitrile、3-Oxo-3-(4-cyanophenyl)propanenitrile |
体系名: | β-オキソ-4-シアノベンゼンプロパンニトリル、3-オキソ-3-(4-シアノフェニル)プロパンニトリル |
ナフト[1,2-c][1,2,5]オキサジアゾール
フロ[3,2‐c:4,5‐c′]ジピリジン
フロ[3,2-f][1,7]ナフチリジン
フロ[3,4-b]キノキサリン
ベンゾフロ[2,3-d]ピリダジン
ジアゾナフトキノン
(C10H6N2O から転送)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2016/12/22 17:57 UTC 版)
ジアゾナフトキノン | |
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|
2-Diazo-2H-naphthalen-1-one |
|
別称
1,2-Naphthoquinone diazide
|
|
識別情報 | |
CAS登録番号 | 879-15-2 |
|
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特性 | |
化学式 | C10H6N2O |
モル質量 | 170.17 g mol−1 |
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。 |
ジアゾナフトキノン(diazonaphthoquinone, DNQ)はナフトキノンのジアゾ誘導体である。 光に曝されると、ウルフ転位によりケテンを形成する[1]。この化学反応は、半導体工業において様々なジアゾナフトキノン誘導体で利用されている。
用途
ジアゾナフトキノンスルホン酸エステルは半導体製造のためのフォトレジスト材料の構成要素としてg線やi線等の水銀ランプによる露光で一般的に使用されて いる[2]。この応用では、DNQ類はフェノールポリマーの一種であるノボラック樹脂と混合される。DNQは溶解阻害剤として機能する。マスキング/パターニング過程では、フォトレジストフィルムの一部が光に曝される。レジストフィルムの露光されなかった部分ではDNQは溶解阻害剤として作用し、レジストは不溶性を保つ。露光された部分では、DNQはケテンを形成する、つまり周囲の水と反応して塩基に可溶なカルボン酸を形成する。
脚注
- ^ N. C. de Lucas, J. C. Netto-Ferreira, J. Andraos, and J. C. Scaiano (2001). “Nucleophilicity toward Ketenes: Rate Constants for Addition of Amines to Aryl Ketenes in Acetonitrile Solution”. J. Org. Chem. 66 (5): 5016–5021. doi:10.1021/jo005752q. PMID 11463250.
- ^ “Chemical Information Review Document for Diazonaphthoquinone Derivatives Used in Photoresists (PDF)”. National Toxicology Program (2006年1月). 2011年1月19日閲覧。
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