生菌数（個/L）：JIS K0550
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/10 10:12 UTC 版)
「超純水」の記事における「生菌数（個/L）：JIS K0550」の解説
生きたバクテリアだけでなく、培養で発芽する芽胞や胞子も含む。一部のバクテリアは貧栄養条件の超純水配管内で増殖し、形成されたバイオフィルムが微粒子発生源となるほか、剥離して設備装置に重大な障害を招くなど微粒子以上に支障となるため、半導体分野では1ミリリットル中10個未満が望まれる。工場では対策として定期的に過酸化水素水などの酸化剤で滅菌洗浄されるが、プラスチック(PVC)配管の酸化劣化により、かえって汚染を招いてしまうリスクとの兼ね合いとなるなど、防ぎきるのは難しい。専用機材でサンプリング後、規定時間培養する必要があるなど、指標として即時性や連続性に欠け、コストも高い。このため、日常的には微粒子数で代替され、要求水準によってはスポット測定も省かれる。
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