材料と考慮とは? わかりやすく解説

材料と考慮

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/06/07 02:21 UTC 版)

High-κ絶縁体」の記事における「材料と考慮」の解説

二酸化ケイ素ゲート絶縁体別の材料置き換えることは、製造プロセスをさらに複雑にする。下層シリコン熱酸化英語版)することで均一性と高い界面特性を持つ二酸化ケイ素作ることができる。その結果開発努力製造プロセス容易に取り込める高い誘電率をもつ材料探索集中したその他に考慮すべき事は、シリコンへのバンドアライメント(これはリーク電流変化させる)、薄膜モルフォロジー熱的安定性チャネルでの電荷キャリアの高い移動度維持薄膜との界面での電気的欠陥最小化である。多く注目集めている材料は、一般的に原子層堆積作られるケイ酸ハフニウムケイ酸ジルコニウム英語版)、酸化ハフニウムジルコニアである。 high-k絶縁体での欠陥状態は電気特性影響与えられる考えられる欠陥状態は、例えゼロバイアス刺激電流ゼロ温度勾配ゼロバイアス刺激電流分光、非弾性電子トンネル分光英語版)(IETS)を用いて測定できる

※この「材料と考慮」の解説は、「High-κ絶縁体」の解説の一部です。
「材料と考慮」を含む「High-κ絶縁体」の記事については、「High-κ絶縁体」の概要を参照ください。

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