単結晶成長法
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/09/10 06:11 UTC 版)
リン化ガリウムは常圧下900 ℃以上の温度では、気体のリンと液体のガリウムに解離する。結晶成長時に融液は1500℃程度の温度となるため常圧化ではリンとがリムが解離してしまう。このことから、解離を防ぐため、10〜100気圧の不活性ガス雰囲気下で溶融した酸化ホウ素でリン化ガリウムの融液を覆い、リンの蒸気圧を下げて結晶を成長させる必要がある。 結晶成長は、シリコン単結晶と同じくチョクラルスキー法を用いる。ただし、上記の通り酸化ホウ素により融液を覆うため液体封止チョクラルスキー法（Liquid Encapsulated Czochralski、略称: LEC）と呼ばれる。
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