半導体グレードシリコン

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半導体グレード（SEG）シリコン

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/17 00:52 UTC 版)

「ケイ素」の記事における「半導体グレード（SEG）シリコン」の解説

集積回路に使用する半導体素子用の超高純度のケイ素（純度11N以上）は、上記の高純度シリコンから、さらにFZ（フローティングゾーン）法のゾーンメルティングやCz（チョクラルスキー）法の単結晶成長法による析出工程を経ることで製造される。