半導体マイクロマシン
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2018/11/27 04:09 UTC 版)
「マイクロマシン」の記事における「半導体マイクロマシン」の解説
リソグラフィ技術(主にシリコンとその化合物から半導体集積回路を作製する技術)を用いて作製されたマイクロマシン。 成膜 露光 エッチング 犠牲層エッチング
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