従来の機械加工の延長

ウィキペディア小見出し辞書

従来の機械加工の延長

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/11/27 04:09 UTC 版)

「マイクロマシン」の記事における「従来の機械加工の延長」の解説

従来から用いられている加工装置でもnmオーダーの加工精度が得られるようになった。微小かつ複雑な形状（能面やワイングラスなどが有名）の構造が作製できる。このような複雑な形状は半導体マイクロマシンでは今のところ作製不可能である。 最近ではμmオーダーのギアなどが作製されている。 このような部品を用いて1cm以下の犬ロボットや自動車、パイプの中を動くロボットなどが作製されている。