出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/06/15 01:22 UTC 版)
「プラズマ工学」の記事における「半導体プラズマ・プロセス」の解説
エレクトロニクスの分野で広く用いられている半導体集積回路の製造では、機能改善とコストの低減を目的とした高度な微細加工が要求されている。この分野にプラズマを用いることで、より精度の高い部品の加工を可能としている。
※この「半導体プラズマ・プロセス」の解説は、「プラズマ工学」の解説の一部です。
「半導体プラズマ・プロセス」を含む「プラズマ工学」の記事については、「プラズマ工学」の概要を参照ください。
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