半導体製造装置

デジタル大辞泉

はんどうたい‐せいぞうそうち〔ハンダウタイセイザウサウチ〕【半導体製造装置】

読み方：はんどうたいせいぞうそうち

半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加（ドーピング）する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け（フォトリソグラフィー）をする露光装置、組み立てや検査をする装置などを指す。

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半導体製造装置

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/09/24 01:48 UTC 版)

半導体製造装置（はんどうたいせいぞうそうち）とは半導体の製造に使用される装置。

概要

半導体製造装置は半導体の製造のために使用される装置で年々微細化が進むため対応できるかどうかが競争力に直結する。特に縮小投影型露光装置(ステッパー)は微細化の要であり、製造ラインは露光装置を中心に配置される。1990年代までは日本の半導体産業も積極的に設備投資していたが、国際的な競争力の低下に伴い、2010年代以降は半導体事業の分社化、再編が進められ、国内の設備投資額は減りつつあり、半導体製造装置の国内需要の低下に伴い輸出依存が高まりつつあるが、新興国のメーカーの技術水準の向上に伴い、厳しい競争に晒される^[1]。かつては露光装置では首位だった日本メーカーも2010年以降はEUV露光装置の開発を事実上諦め、ASMLの後塵を拝しつつある。シリコンサイクルに伴い製造装置の需要が乱降下する。

主な半導体製造装置

• 縮小投影型露光装置（ステッパー）
• イオン注入装置
• 熱処理装置
• アッシング装置
• スパッタリング装置
• ダイシング装置
• 検査装置

主な企業

• 東京エレクトロン
• アプライド・マテリアルズ
• SCREENホールディングス(旧:大日本スクリーン製造)
• 日立ハイテク
• 東京精密
• 日本電子
• ASML
• ラムリサーチ
• ASMインターナショナル
• ニコン
• キヤノン
• 芝浦メカトロニクス
• KOKUSAI ELECTRIC

出典

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1. ^ “主要製造業の課題と展望”. 2020年9月9日閲覧。

関連項目

• 半導体・製造装置メーカー売上高ランキング

外部リンク

• 日本半導体製造装置協会

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半導体製造装置

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/18 02:09 UTC 版)

「東京エレクトロン」の記事における「半導体製造装置」の解説

コータ／デベロッパー - 半導体を製造する際に、フォトリソグラフィープロセスにおいて感光剤の塗布と現像を行う装置。 サーマルプロセスシステム（熱処理成膜装置）- トランジスタの絶縁膜をつくるための製造装置。半導体製造において、トランジスタの性能向上を図るために、短時間で高温での熱処理が必要とされている。 エッチング装置 サーフェス プレパレーション装置 - 半導体製造過程において、チリ、ほこり等の不純物を洗浄するための装置。 ガスボックス、ガスパネル（半導体製造装置用）