半導体製造装置通信スタンダード

デジタル大辞泉

はんどうたいせいぞうそうち‐つうしんスタンダード〔ハンダウタイセイザウサウチ‐〕【半導体製造装置通信スタンダード】

読み方：はんどうたいせいぞうそうちつうしんすたんだーど

⇒セクス

IT用語辞典バイナリ

SECS

フルスペル：SEMI Equipment Communications Standard
別名：半導体製造装置通信スタンダード

SECSとは、半導体製造工場においてホストコンピュータ等の工場内システムと半導体製造装置との通信に用いられる通信プロトコルの規格のことである。

SECSはSECS-IとSECS-IIという2種類の仕様からなる。IとIIは階層的位置づけが異なる。SECS-Iは通信を確立するプロトコルの仕様であり、SECS-IIはやりとりされるデータ（メッセージ）の定義である。