半導体試験装置

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半導体試験装置

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/08/08 16:20 UTC 版)

半導体試験装置（はんどうたいしけんそうち）とは、集積回路（半導体デバイス）の製造工程において、性能等を試験し良品と不良品の選別を行う装置を指す。