半導体故障解析
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/09/30 21:15 UTC 版)
半導体故障解析（はんどうたいこしょうかいせき）とは、集積回路（半導体デバイス）において、製造過程での不良品や、故障品の何処に異常があるのかを解析する事、又、その技術である。
- ^ a b c Nikawa, K.; Inoue, S. (1996). “New Laser Beam Neating Methods Applicable to Fault Localization and Defect Detection in VLSI Devices”. Proceedings of International Reliability Physics Symposium RELPHY-96 (IEEE): 346. doi:10.1109/relphy.1996.492141.
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半導体故障解析
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/07/03 14:21 UTC 版)
半導体故障解析とは、極めて多くの素子の集合体である集積回路に於いて、何処が、どの様に、壊れているのかを解析する技術である。LSIテスタ（半導体試験装置）では、不良品であることは分かっても、その回路の何処に異常があるのかまでは分からない。数千万ものトランジスタが集積された回路に於いて、その一つ一つを試験していくのは現実的ではなく、また、それ以上に配線の不良などもあり得る。従って、集積回路の登場当初から、集積度の向上に伴って、故障解析技術も進歩している。
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