液晶法

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液晶法

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2016/12/01 07:47 UTC 版)

「半導体故障解析」の記事における「液晶法」の解説

集積回路上に液晶を展開させて動作させると、異常発熱が起こっている箇所では液晶が相転移を起こす。従って、偏光顕微鏡で観察すると、故障個所が暗くなる為、発見する事が出来る。