エネルギー分散型X線分光（イーディーエス）
略語：EDS
【英】：energy-dispersive X-ray spectroscopy
試料から発生した特性X線を直接半導体検出器で検出し、電気信号に変えて分光分析する手法。検出した特性X線のエネルギーに比例したパルス電流を生じさせ、これを多チャンネル波高分析器で選別して測定する。波長分散型と比べ軽い元素(B: ボロン以下)は分析できないが、X線の検出効率は高い。照射電流量は波長分散型より少なくてすむので(数pA〜数nA)試料へのダメージは少ない。通常の分解能は〜140eV（Mn: マンガンのKα発光(5.9keV)に対して）程度である。統計誤差で決まる分解能は発生X線のエネルギーEの平方根×√3程度である（生成される電子数nは、バンドギャップエネルギーを〜3eVとして、n〜E/3、統計誤差Δn〜√n。したがって、エネルギー巾（誤差）〜Δn・3＝√E・√3）。最近はBe(ベリリウム)も分解できる検出器も開発されている。定量精度は0.5〜5％である。EDSはEPMA（分光結晶を用いる）に比べて、空間分解能は2桁高いが分析の定量精度は1桁悪い。略称はEDSであるが、EDXともいう。
【英】：energy-dispersive X-ray spectroscopy
試料から発生した特性X線を直接半導体検出器で検出し、電気信号に変えて分光分析する手法。検出した特性X線のエネルギーに比例したパルス電流を生じさせ、これを多チャンネル波高分析器で選別して測定する。波長分散型と比べ軽い元素(B: ボロン以下)は分析できないが、X線の検出効率は高い。照射電流量は波長分散型より少なくてすむので(数pA〜数nA)試料へのダメージは少ない。通常の分解能は〜140eV（Mn: マンガンのKα発光(5.9keV)に対して）程度である。統計誤差で決まる分解能は発生X線のエネルギーEの平方根×√3程度である（生成される電子数nは、バンドギャップエネルギーを〜3eVとして、n〜E/3、統計誤差Δn〜√n。したがって、エネルギー巾（誤差）〜Δn・3＝√E・√3）。最近はBe(ベリリウム)も分解できる検出器も開発されている。定量精度は0.5〜5％である。EDSはEPMA（分光結晶を用いる）に比べて、空間分解能は2桁高いが分析の定量精度は1桁悪い。略称はEDSであるが、EDXともいう。
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