検出立体角

走査電子顕微鏡基本用語集

検出立体角　detection solid angle

試料上の電子線入射点から検出器を見込んだ立体角。数値が大きいほど検出効率が高いことを意味する。なお、二次電子、反射電子の場合は、対物レンズの磁界や検出器の電界の影響を受けるため、単純な幾何学的な立体角とは異なる。

関連する用語

• 検出効率
• 二次電子
• 反射電子
• 対物レンズ

透過電子顕微鏡基本用語集

検出立体角

【英】：solid angle

EDSにおいて、試料から放出される特性X線を、検出器が試料を見込む立体角度のこと。は、検出器の有効検出断面積が大きく、試料と検出器の距離が短いほど大きくとることができる。

関連する用語

• エネルギー分散型X線分光
• EDS

説明に「検出立体角」が含まれている用語

• 検出立体角
• 高角度（配置）型EDS検出器