マイクロカロリメトリー検出器とは？わかりやすく解説

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マイクロカロリメトリー検出器　microcalorimetry detector

EDS検出器の一種。極低温に保たれた熱吸収体にX線が入射すると微量の熱を発生するが、X線のエネルギーにより温度上昇が異なるため、これを検出することでX線のエネルギーを測定する EDS検出器で、現在開発段階にある。WDS並のエネルギー分解能を持っているが、計数率と受光面積が極めて小さいので、実用分析に利用するためには、検出立体角を大きくするような工夫が必要である。

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