製膜技術とは? わかりやすく解説

製膜技術

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/04/01 09:26 UTC 版)

有機エレクトロルミネッセンス」の記事における「製膜技術」の解説

真空蒸着法 真空蒸着法は、主に低分子化合物材料とする有機EL素子薄膜製造する際に用い技術である。真空チャンバー内で、原料化合物加熱し蒸発させる。すると真空チャンバー内に置かれ基板の上に、化合物薄く(数nm-数百nm蒸着される。赤、緑、青と塗り分ける際はスリット用いる。前節通りスリット用い製造法では製造基板大型化は困難であるが現在ほとんどの有機EL商品真空蒸着法製造されている。 印刷技術法 インクジェット技術などの印刷技術利用しインク状にした有機EL材料基板上で薄膜にし素子作成する技術大型ディスプレイ製造有用であるが前述のとおり高分子材料開発難航し中型量産ライン2019年11月にようやく稼働したばかりである。

※この「製膜技術」の解説は、「有機エレクトロルミネッセンス」の解説の一部です。
「製膜技術」を含む「有機エレクトロルミネッセンス」の記事については、「有機エレクトロルミネッセンス」の概要を参照ください。

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