収差補正

走査電子顕微鏡基本用語集

収差補正　aberration correction

レンズの組み合わせにより、収差を補正し、理想的なレンズに近づけること。回転対称な磁界レンズでは凸レンズしか出来ないため単純なレンズの組み合わせでは収差補正を行うことができず、四極子レンズあるいは八極子レンズといった非回転対称な特殊レンズの組み合わせで行う。商品化されているものは数少ないが、球面収差および色収差の補正が行われている。

関連する用語

• 収差
• 球面収差
• 色収差
• 磁界レンズ
• 四極子レンズ

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収差補正

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/05/24 10:34 UTC 版)

「二重収束型質量分析計」の記事における「収差補正」の解説

各収差を打ち消すように磁場セクターと電場セクターを配置することで、二重収束が得られる。 方向収束 入射された同じ質量電荷比と運動エネルギーを持っているものの、入射角度が異なる荷電粒子の流れを、再度一点に収束させる事象を方向収束と呼び、磁場セクターで収差補正する。 速度収束 入射された同じ質量電荷比でありながら、少し異なる速度を有する荷電粒子の流れを収束させることを速度収束と呼び、電場セクターにより収差補正される。 検出感度は 6982100000000000000♠10−15 g オーダーで極微量分析が可能。

収差補正

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)

「電子線描画装置」の記事における「収差補正」の解説

対物アパーチャーや静電式収差補正電極などにより、各種の収差を補正する。