amorphous-siliconとは? わかりやすく解説

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アモルファスシリコン


非晶質シリコン

読み:ひしょうしつしりこん
英語:amorphous silicon

a-Si:H.SiH4(シラン)ガスのグロー放電により作製する.多量のHを含み局在準位密度が10^17cm3以下に減少し,BやO添加によるPN制御が可能である.感光体用には高抵抗化のため微量の酸素,炭素等を添加することもある.

アモルファスシリコン

別名:a-Si,アモルファスSi
【英】amorphous silicon

アモルファスシリコンとは、原子が不規則に結合した(非晶質=アモルファスの)シリコン半導体のことである。液晶パネルの薄膜トランジスタ(TFT)などに多用されている。

アモルファスシリコンは、規則的な原子配列を持った「結晶シリコン」に比べると、結晶構造がやや不安定である。電子移動度も低い。その反面、薄膜として加工しやすく、安価に大量に製造できるという利点がある。このため、薄型の液晶パネルを量産する際にアモルファスシリコンが多く用いられる。

アモルファスシリコンは、薄膜トランジスタの他、薄型の太陽電池セル、レーザープリンタにおける高耐久の感光ドラムなどにも利用されている。

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