半導体検出器
略語：SSD
【英】：semiconductor detector (solid-state detector)
エネルギー分散型X線検出器のひとつ。測定原理は、Liをドープした単結晶のシリコンの半導体に高エネルギーのX線が入ると、入射X線の失うエネルギーに比例した数の電子-正孔対が生成され(生成エネルギー〜3eV)、これに外部から電界をかけて電圧パルスとして取り出して計測する。窒素冷却で使用される。は生成する電子-正孔対が多くWDSに比べて検出効率が高い。EDS装置の検出器に使われる。
【英】：semiconductor detector (solid-state detector)
エネルギー分散型X線検出器のひとつ。測定原理は、Liをドープした単結晶のシリコンの半導体に高エネルギーのX線が入ると、入射X線の失うエネルギーに比例した数の電子-正孔対が生成され(生成エネルギー〜3eV)、これに外部から電界をかけて電圧パルスとして取り出して計測する。窒素冷却で使用される。は生成する電子-正孔対が多くWDSに比べて検出効率が高い。EDS装置の検出器に使われる。
- イメージングプレート
- ウィンドウレス（窓材無し）型EDS検出器
- ウルトラ・スィン・ウィンドウ型EDS検出器
- エスケープピーク
- エネルギー分散型X線分光
- サムピーク
- ベリリウム・ウィンドウ型EDS検出器
- 熱雑音
- 半導体検出器
- 反射電子検出器
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