走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーとは? わかりやすく解説

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走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/11/06 21:11 UTC 版)

カンチレバー」の記事における「走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバー」の解説

走査型プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)においてはカンチレバーは自由端近傍に探針形成され構造全体を指す言葉として使われる。被測定試料最も近い位置にある部品で、光学顕微鏡喩える対物レンズ相当する半導体プロセス用いて作製され小さなカンチレバー広く用いられ構成材料形状異なさまざまなカンチレバー製作されている。構成材料には単結晶シリコン窒化シリコン使われる形状中抜き三角形薄板短冊形薄板一般的である。長さおおよそ50μmから500μm、厚さはおよそ0.1μmから5μmである。構成材料形状の差により異な機械特性ばね定数共振周波数Q値)を示しばね定数は0.005 N/mから50 N/m共振周波数は5 kHzから500 kHzの間の特性を示す。 例え0.5 N/mばね定数カンチレバー測定試料1 nm押し込めば、次式に示すフックの法則より0.5 nNの力が測定試料に加わる。 F = − k x {\displaystyle F=-kx} (F:力、k:ばね定数、x:変位一般にアスペクト比の高い、つまり、より尖った探針の方が正確なTopography(表面凹凸像)を得られる一方先端強度低下する近年では材料強度の高いカーボンナノチューブ探針として用いたカンチレバー市販されている。

※この「走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバー」の解説は、「カンチレバー」の解説の一部です。
「走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバー」を含む「カンチレバー」の記事については、「カンチレバー」の概要を参照ください。

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