出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/06 23:32 UTC 版)
「走査型プローブ顕微鏡」の記事における「走査型圧電応答顕微鏡（PFM）」の解説
試料に交番電界を印加した時の微小な変形から圧電特性を評価する。
※この「走査型圧電応答顕微鏡（PFM）」の解説は、「走査型プローブ顕微鏡」の解説の一部です。
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