最小錯乱円

走査電子顕微鏡基本用語集

最小錯乱円　minimum confusion circle,circle of least confusion

収差の無いレンズの場合、光軸上の点電子源から出た電子線は光軸上の一点に集束するが、収差がある場合、光軸との角度が異なる電子線は光軸上の異なる場所に像を作り、電子線は有限な太さを持つことになる。場所によりその太さは異なるが、最小の径を持つ断面を最小錯乱円と言う。下図は球面収差の場合であるが、最小錯乱円の半径はr=1/4C_sα³となる。C_sは球面収差係数、αは開き角である。

関連する用語

• 収差
• 光軸
• 電子線

透過電子顕微鏡基本用語集

最小錯乱円

【英】：disk of least confusion

電子レンズには球面収差があるので、物体の一点からいろいろな方向に出射した電子線は理想像面で一点に集まらない。光軸となす角が小さな出射ビームは理想像面に近いところに像を作り、光軸となす角が大きいビームは理想像面よりレンズに近い側に像を作る。これらを加え合わせると、理想像面から少しレンズ側にずれたところに最小の円(ディスク)像が作られる。これをという。球面収差によるの直径d_sは d_s = (1/2)Csα³で与えられ、ガウス面上でのボケの1/4である。ここでCsは球面収差係数、αは電子線の光軸とのなす角。

関連する用語

• 球面収差

説明に「最小錯乱円」が含まれている用語

• 最小錯乱円