cold cathode field-emission electron gunとは? わかりやすく解説

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冷陰極電界放出型電子銃

【英】:cold (cathode) field-emission electron gun

タングステンチップのエミッタに、常温強電界をかけトンネル効果により電子放出させる電子銃放出電子のエネルギー幅は熱電タイプまたはショットキータイプより狭いので(〜0.4eV)、EELSにおいて高いエネルギー分解能得られる。バーチャルソースサイズは〜10nmと小さいので干渉性良く電子線ホログラフィー適する。ショットキータイプよりも微小なプローブ作れるが、全放出電流量はより少ない。したがって透過電子顕微鏡像観察において、高倍率には適しているが、中低倍率領域ではショットキータイプのほうが使いやすい。その輝度加速電圧200kVで〜8×108A/cm2.srである。エミッタ表面残留ガスによって汚染されやすく、放出電流変動しやすい。市販のものは8時間程度エミッタ先端フラッシングする必要がある長い時間わたって大きな電流量で一定した電流を必要とするような分析には不向であったが、最近は真空度の向上によりプローブ電流安定度改善され使い勝手改善されている。

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